第150章 第二代光刻机下线 (第2/4页)
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第三代扫描投影式光刻机我们这边也有技术储备，在85年的时候就已经成功研制出来，只是后面没有合适的产品应用，一直被束之高阁。”所长不由有点惋惜，“现在有了你这边的批量化生产的经验积累和提供的技术方案，在第三代光刻机方面的进展非常顺利。”
“那多长时间能够用上？我估计第二代光刻机用不了两年就会被淘汰。”他解释道，“M国那边的第三代 光刻机现在应该已经进入成熟阶段，只是因为成本的问题，一直没有推广开来。现在有了我这条过江猛龙，想必最迟1998年就会批量生产第三代光刻机。”
“放心，在第三代光刻机方面，我们肯定不会拖你的后腿，最迟今年年底，就可以试制完成。”所长指着一旁安装到一半的机器道，“这就是第三代机器了，目前的进度已经过半，加上之前的技术积累，年底完成不成问题。”
“第三代光刻机创新性的使用光学投影式进行光刻，以扫描的方式实现曝光，光源也改进为248nm的KrF激光，最小工艺推进至了180-130nm，我们有把握将最低130nm制程的良品率至少提高到60%以上！”
“也就是说最迟明年年底可以交付给我们使用？”
所长点点头答道，“是的！准确来说，是明年上半年就可以交付。但是在第四代光刻机的进展非常缓慢，我们可能没办法给予你们太多的帮助。”
“这个问题我已经考虑到了，第三代光刻机应该可以用一段比较长的时间，第四代光刻机不仅我们卡，西方国家也卡！我们还有时间继续
