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我做不到那么快。”
“跟AI比速度,你才叫找虐呢!”纪弘嘀咕了一句,然后继续往后看AI的处理,AI最终敲定的方案是:
引入校准光路,标定以及引导光路搭建与调节。
而这个方案,实施起来非常之简单,只需要在驱动激光的同轴光路上,加入一个单模低功率绿光激光器就可以了。
不仅如此,这个方案还可以同时应用于稳定控制系统的标定。
最终形成了这么一套光束稳定控制系统,完成了相关的方案。
AI是怎么解决光源长期稳定运行这个问题的,纪弘虽然感兴趣,但他更感兴趣的,是这个分支的AI发生的这些个变化以及应用。
根据申再平的工作记录,以及张博按照AI的需求提供的各个零部件的参数以及整理出来的相关资料,依据这次EUV光刻机的研发进程,纪弘总结了如下的步骤:
第一步:将DUV光刻机的成熟方案当作素材输入到了训练库中。
第二步:类思维AI将这个成熟方案分解成了若干个模块。
第三步:单独升级其中的关键模块,甚至每一个模块。
第四步:将升级过后的模块替换掉步骤一当中的原始模块。
第五步:重复第一步。
……
“你们看似只提供了一套DUV的成熟方案,和供应商的能够应用于EUV的零部件,AI其实已经循环迭代无数次了。
“不仅EUV光刻机的整体是如此,很多零部件的解决方案也