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“我再确认一下,”纪弘问道:“申总这边是提供了一个DUV的成熟方案,然后按照自己的理解,升级了一套EUV的方案,对吧?”
“是这样的没错!”申再平心里此刻也有了一定的猜测了,但这个猜测过于大胆,于是小心翼翼谨谨慎慎的思索了一番,最终重重的点了点头。
“然后就是,各大零部件供应商的子系统相关数据,”纪弘看向了张博,这方面的东西是他在记录。
“嗯。”张博拿出了自己的平板电脑,找出了相应的工作笔记:“我和刘院士来到这里,第一时间就利用科学院的关系,联系和整合了EUV光刻机所能用到的所有零部件的供应商。
“也是第一时间拿到了他们的产品文档和参数,尤其是科学院的相关科研院所非常支持我们,产品研发的全流程数据都给我们了。
“而这些都用于了AI的训练。”孙博说道:“还有这个,你看看。”
孙博递过来的,赫然是他这一段时间的心得,也就是那本《如何驾驭类思维AI——以EUV光刻机的研发进程为例》。
光刻机研发过程中的整体AI训练他并没有整理,但是各个零部件是怎么突破的,他这里边记录的就非常清楚。
比如,光源系统。
“钛宝石13.5 nm极紫外光源系统是科学院下属的几个研究院联合好几所大学共同研发的,我们拿到这套系统的时候,它实际还不完善。”
孙博介绍道:“最起码用于光刻机是不够的,高次谐波产生的过程能量转换效率