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!”包正义满脸的笑容,“潘总工!苏哲可不是一般人,我们都应该感谢苏哲。”
“感谢苏哲!为啥?难不成DYN-离子束抛光技术和苏哲有关?”潘飞鹏开玩笑的说。
“潘总工!我们参观一下研究中心,关于DYN-离子束抛光技术的问题,我们技术报告会上说。”包正义神秘一笑。
“这……好吧!”潘飞鹏好奇的不行,可客随主便还是知道的。
一行人浩浩荡荡的在包正义的带领下参观研究中心,留下范晓明一个人站在门口。
……
苏哲远远的回头看了一眼,猜测小车上坐的那位五十多岁的中年男士应该就是申城微电子的总工程师潘飞鹏。
有了DYN-离子束抛光技术,EUV光刻机的光学镜头问题算是解决了。
按照范晓明说的,申城微电子能够生产EUV光刻机了,可相对BSML生产的EUV光刻机,EUV光源是一个大问题。
清大司文博的研究团队搞出来的同步辐射EUV光源可行,但能耗过大。
陵州理工牛光辉的研究团队研究的是等离子体EUV光源,理论上功耗要小不少,可惜还没成功。
光源的问题是一个大问题。
不管是实验验证XX-氢原子振动模型、XX-2.38-氢原子振动模型等模型,还是寻找重光子的实验,都需要光源,及高功率、高单色的光源。
考虑到以后对ZGZ-原子振动模型的完善,需要波长不同的电磁波光源……
苏哲